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ZDM系列真空鍍膜機化學名叫六甲基二硅胺烷（別名六甲基二硅氮烷），真空鍍膜機又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng)，喆圖真空鍍膜機對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制，可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量，所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行，沒有HMDS揮發(fā)，提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料